電子潔凈車間作為現(xiàn)代高科技產(chǎn)業(yè)的核心基礎(chǔ)設(shè)施,其裝修工程涉及精密制造、生物醫(yī)藥、半導(dǎo)體等對(duì)環(huán)境潔凈度要求極高的領(lǐng)域。以下從施工要點(diǎn)方面展開分析,為相關(guān)企業(yè)提供系統(tǒng)性參考。
1、密封性處理
所有接縫需采用中性硅膠密封(寬度≥6mm),風(fēng)管安裝采用液槽密封法蘭,泄漏率<0.01%。某液晶面板廠實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)顯示,采用激光焊接工藝的管道系統(tǒng)比傳統(tǒng)法蘭連接氣密性提升40%。
2、潔凈管道施工
-純水系統(tǒng):316L不銹鋼管道,內(nèi)表面Ra≤0.5μm,坡度設(shè)計(jì)≥0.5%
-工藝排氣:PPH管道熱熔焊接,需進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏(泄漏率<1×10??Pa·m³/s)
3、檢測(cè)與調(diào)試
竣工后需進(jìn)行三項(xiàng)關(guān)鍵測(cè)試:
-粒子計(jì)數(shù)(按ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn))
-氣流可視化(發(fā)煙測(cè)試)
-自凈時(shí)間測(cè)試(從ISO8級(jí)恢復(fù)到ISO5級(jí)應(yīng)≤15分鐘)